1、水準儀由望遠鏡、水準器和基座三個主要部分組成。水準儀的主要功能是測量兩點間的高差h，他不能直接測量待定點的高程H，但可由控制點的'已知高程來推算測點的高程。例外用視距測量原理，它還可以測量兩點間的水平距離D，但精度不高。

2、經緯儀由照準部、水平度盤和基座三部分組成。主要功能是測量兩個方向之間的水平夾角β;其次，它還可以測量豎直角α;借助水準尺，利用視距測量原理，它還可以測量兩點間的水平距離D和高差。

3、全站儀由電子經緯儀、光電測距儀和數據記錄裝置組成。